| 九州大学は、極端紫外線の技術を持つ新会社、EUVフォトンを設立へ | ||||||
| >2025年度中にサービス提供予定 | ||||||
| >素材メーカーから発注を受け、EUVの照射や解析、評価を担う | ||||||
| (九州大学 発表) | ||||||
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