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| ADEKAは、埼玉県久喜市に、100億円で先端の半導体向け材料などを研究・開発する新研究棟を設けます。 | |||||||||||
| 不純物管理に使う先端半導体向け開発用の分析装置や成膜評価装置などを設置します。 | |||||||||||
| 主力の半導体製造の前工程用材料のほか、「後工程」用などで必要になる新規材料も含めて開発の機動性を高めます。 | |||||||||||
| （ADEKA 発表） | |||||||||||
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